簡(jiǎn)單了解一下干式真空泵

干式真空泵（也稱(chēng)干式機械泵）是指泵在常壓下可啟動(dòng)抽氣，可將抽吸的氣體直接排放到大氣中。泵腔內無(wú)油或其他工作介質(zhì)，壓力等于或接近油封真空泵的機械真空泵。

截至2013年，真空行業(yè)使用的機械真空泵大多采用油、水或其他聚合物等流體作為泵的工作介質(zhì)，在泵內具有冷卻、密封、潤滑等多重功能。隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和真空應用領(lǐng)域的擴大，原有的機械真空泵及其排氣系統有兩個(gè)迫切需要解決的問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)倒流，污染被抽容器，而這種回流在很多情況下，會(huì )影響產(chǎn)品的質(zhì)量和數量，增加設備的維護成本。其次，真空泵中的介質(zhì)由于某些過(guò)程中的反應物而嚴重變質(zhì)，使泵無(wú)法正常工作。

對于普通的無(wú)油真空系統，雖然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件來(lái)防止回流，但不能徹底解決問(wèn)題，使系統復雜化。使用合適類(lèi)型的干式真空泵可以達到預期的效果。

干式真空泵應用廣泛，主要表現在以下幾個(gè)方面：

1、低壓化學(xué)氣相沉積多晶硅制備工藝；

2、半導體蝕刻工藝。在這些生產(chǎn)過(guò)程中經(jīng)常使用干式真空泵或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨料顆粒；

3、對于半導體工藝以外的一些會(huì )產(chǎn)生顆粒的工藝，預計顆粒不會(huì )混入干式真空泵的泵油中，預計顆粒會(huì )從泵中排出。某些類(lèi)型的干式機械真空泵可以滿(mǎn)足要求；

4、化工、醫藥、食品等行業(yè)的蒸餾、干燥、脫氣、包裝過(guò)程中，應防止有機溶劑造成污染，應使用干式真空泵；

5、采用干式真空泵作為一般無(wú)油潔凈真空系統的前級泵，防止油污。