怎樣選擇干式真空泵

為了適應不同的使用要求，干式真空泵被分為許多不同類(lèi)型的設備。對此，為了適應不同的使用需求，下面將介紹如何正確選擇它們。

不同類(lèi)型的干式真空泵，我們總是渴望能夠減小它們的物理尺寸。然而，這與真空泵的抽速相矛盾，干式真空泵的抽速與容積成正比。較小的物理尺寸意味著(zhù)體積也很小。當然，影響干式真空泵抽速的另一個(gè)重要因素是速度。為了使小型真空泵的吸氣速度與大型真空泵的吸氣速度相匹配，需要提高速度。改變干式真空泵轉速的方法有兩種，一種是改變電源的頻率，即使用變頻器；另一種是改變變速箱的傳動(dòng)比。其中，使用變頻器的優(yōu)點(diǎn)是可以提供閉環(huán)控制，但在重載時(shí)容易造成轉矩損失。改變變速箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟的方法，當然只能提供單速，無(wú)法控制。

意外的干式真空泵錯誤會(huì )降低機器效率，影響晶圓生產(chǎn)和交付，甚至導致晶圓報廢和其他零件的加工損壞。由于螺桿設計采用單級設計，與滾珠槽、爪形和組合等多級泵相比，使用的零件數量可減少60%。這對于干式真空泵的穩定性和未來(lái)維護成本來(lái)說(shuō)是一個(gè)很大的優(yōu)勢。

一般來(lái)說(shuō)，如果用戶(hù)認為功耗對他來(lái)說(shuō)很重要，那么選擇內壓螺桿干式真空泵可能是一個(gè)不錯的選擇，而氮含量對他來(lái)說(shuō)并不重要。但總的來(lái)說(shuō)，對廢氣處理的要求越來(lái)越嚴格，未來(lái)減少氮氣的使用量就顯得尤為重要。如果您想在不使用簡(jiǎn)單的庫存控制泵改變它們的情況下處理各種半導體工藝，外部壓縮螺釘干式真空泵是較好的選擇。

結合上述所有設計類(lèi)型的優(yōu)點(diǎn)是理想的，具體取決于具體情況，但目前還不可能。因此，用戶(hù)需要了解干式真空泵的設計類(lèi)型，然后根據自己的工藝特點(diǎn)了解不同類(lèi)型的泵設計的影響。這種選擇可以降低干式真空泵使用成本，并獲得更長(cháng)的使用壽命和穩定的真空系統。